[科普中国]-氮化物电阻薄膜

氮化物电阻薄膜是指氮化物电阻薄膜是由稀有金属及其合金氮化物所组成的薄膜材料。

简介氮化物电阻薄膜是指氮化物电阻薄膜是由稀有金属及其合金氮化物所组成的薄膜材料。

分类其类型主要有:

（1）氮化钛薄膜，可用反应蒸发、反应溅射、CVD等方法形成TiN电阻薄膜，TiN电阻膜的性能类似Ta2N，但钛的价格较担低;

（2）氮化锆薄膜，它是一种耐温高阻薄膜，主要用于热印电阻器;

（3）铌钽和铌钽氮薄膜，这种薄膜具有Ta膜和Ta2N膜类似的性能1。

方法一般采用溅射工艺制作薄膜，靶为高纯(99. 9~99. 99%铌、钽复合靶，膜厚一般为100~250nm。

用途铌钽和铌钽氮薄膜除作电阻薄膜外，也可形成NbTa，和NbTaN的阳极氧化膜，可同时制作薄膜电阻和电容2。

本词条内容贡献者为:

邱学农 - 副教授 - 济南大学