[科普中国]-金属陶瓷电阻薄膜

金属陶瓷电阻薄膜是指由金属和氧化物绝缘体混合所构成的薄膜。

简介金属陶瓷电阻薄膜是指由金属和氧化物绝缘体混合所构成的薄膜。

特点其主要特点是电阻率高、耐高温。

材料主要的材料有：

（1）Cr-SiO薄膜，是一种高阻薄膜，其方阻为500 ~3kΩ/口，电阻温度系数小于100ppm/ C'。可用蒸发或溅射法制备。蒸发所用原料为高纯(99. 99%)铬粉和SiO粉混合物。反应溅射法所用原料为高纯铬、硅复合靶，反应气体为高纯氧;或用高纯铬靶、SiO靶进行双靶溅射;

（2）Ti-SiO2薄膜，也是一种电阻温度系数较小、稳定性高的高阻薄膜1。

制备薄膜采用射频溅射制备，靶由高纯钛板和SiO2片构成。通过改变钛和SiO2的面积比，可得到成分不同的Ti-SiO2膜，膜厚为250~300nm。

性能Ti-SiO2薄膜的性能受靶成分、溅射工艺等因素的影响。金属陶瓷电阻薄膜用于高、中阻薄膜电阻器2。

本词条内容贡献者为:

邱学农 - 副教授 - 济南大学