[科普中国]-氧化锡膜

在基体上制备的化学组成为氧化锡的薄膜。通常采用化学气相沉积或反应磁控溅射制备。1

氧化锡膜氧化锡膜组成为氧化锡的薄膜。特点为高导电性，在可见光波段有良好的透光性，较高的红外叹射率和紫外吸收性。氧化锡膜常用热解化学气相沉积或反应磁控溅射法制备。主要用于作电阻器，光电元件、太阳能电池、场致发光元件、显示器、红外反射透光玻璃等。为了增强透明导电效果，常常在氧化锡膜中掺入氧化锑。由氧化锡与氧化铟组成的ITO膜的透光导电性能则更为优越。2

相关应用金属膜电位器金属膜电位器是在玻璃或陶瓷基体上用真空蒸发或电镀的方法，涂敷一层金属膜或一层金属复合膜而制成。用作金属膜的材料有铂铜、铂锗、铑锗，以及三元合金膜铂铱钌、铂铑金、铂铑锰等。用作复合膜的则是一层金属膜与另一层金属氧化膜相合成，如铑膜和氧化锡膜，以及镍铬合金膜加氧化钛膜等。金属复合膜可提高膜层的阻值和耐磨性。

该种电位器的优点是：电阻温度系数小，耐高温，分辨力高，但它的功率小，且阻值较低。3

化学传感器化学传感器是传感器中的重要一类，而气体传感器是化学传感器的重要组成部分。气体传感器的工作原理：利用金属氧化物随周围气体组成的改变，导致电阻等发生变化来对气体进行检测和定量测的。组成气体传感器材料的微粒粒度越小，比表面积越大，传感器与周围气体的接触而发生相互作用越大敏感度越高。另外，用二氧化钛、二氧化铝等组成的传感器可用于氧、氮等气氛的预报；用氧化锡膜制成的气体传感器，可用作战场化学剂的报警、可燃气体泄漏报警和湿度变化预报等。4

电热玻璃通电后能升高温度的玻璃复合材料。电加热元件为极细的钨丝、康铜丝夹在两片玻璃之间（A型）。此型均匀性较好，但制作工艺复杂，且容易产生折光；或在玻璃内表面涂以透明氧化物的导电膜，然后再胶合成夹层玻璃（B型）。用氧化锡膜时，膜层牢固，喷膜工艺简单，但均匀性稍差；用氧化铟锡膜时，膜层牢固，均匀性较好，电阻范围宽，但成本较高。5

本词条内容贡献者为:

黄伦先 - 副教授 - 西南大学