[科普中国]-碳化钛膜

碳化钛膜是指钛碳化合物的薄膜一种重要的耐磨涂层。可以用化学气相沉积（CVD)、离子镀和溅射法制备。

简介碳化钛膜是指钛碳化合物的薄膜一种重要的耐磨涂层1。

制备方法可以用化学气相沉积（CVD)、离子镀和溅射法制备2。

性能晶粒度一般在10-100nm范围，常有明显的(111)或(110)择优取向和较高的缺陷密度。硬度为HV27-30GPa(块体TiC为HV28GPa)。60年代宋碳化钛曾作为硬质合金刀具耐磨镀层进入市场，但不久即被综合性能较好的CVDTIN取代3。

应用前景碳化钛膜是最早获得成功应用的硬膜之一，一般都是用化学气相沉积(CVD)法制备的。由于CVD的沉积温度高(1000℃)，所以应用范围受到极大的限制。等离子体化学气相沉积硬膜技术(PCVD)是在CVD的基础上，加上等离子体的激活作用，使沉积温度降到了600℃以下，前期的研究已证明，在用PCVD法制备的TiCN，中TiC膜有者最高的硬度和最致密的组织，有着广阔的应用前景2。

本词条内容贡献者为:

邱学农 - 副教授 - 济南大学