版权归原作者所有，如有侵权，请联系我们

[科普中国]-电化学气相沉积

上传时间：2021-12-31

科学百科

原创

科学百科为用户提供权威科普内容,打造知识科普阵地

电化学气相沉积法(EVD)是在CVD基础上进一步制备致密膜的一种方法。这种方法可在多孔载体上覆盖一层薄的固体氧化物电解质。如在粗孔载体上覆盖一层陶瓷膜顶层，然后用EVD法沉积，可制得膜厚

请科普中国APP发表评论或查看更多评论