[科普中国]-导电粒子显微镜

导电粒子显微镜是利用导电粒子进行工作的显微镜。

产品介绍

应用领域：LCD液晶、导电粒子、彩色滤光片、手机屏幕、FPD模组、半导体晶圆片、FPC、PCB IC封装、光盘CD、 图像传感器CCD、 CMOS、PDA等。

光源：采用3W 高亮度LED落射和透射照明装置。

物镜：高清晰平场荧光物镜。

偏光：主机内含有可调节偏光装置。

微分干涉DIC：主机内含有可调节微分干涉DIC装置，使观察更清晰，具有更强的立体感和调焦功能。1

工作原理导电粒子显微镜是利用电子束在样品表面扫描激发出来代表样品表面特征的信号成像的。主要用来作微形貌观察、显微成分分析。分辨率可达到1nm，放大倍数可达5×105倍。

特点(1)扫描电镜所用样品的制备方法简便(固定、干燥和喷金)，不需经过超薄切片；

(2)能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

(3)扫描电镜所观察到图像景深长，图像富有立体感；扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。

(4)图象的放大范围广，分辨率也比较高。图像的放大倍率在很大范围内连续可变(101-105×)，分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达3nm。

(5)样品的辐射损伤及污染程度小等。

局限性(1)分辨率还不够高(1-10nm)；

(2)只能显示样品的表面形貌，无法显示内部详细结构。2

本词条内容贡献者为:

李晓林 - 教授 - 西南大学