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[科普中国]-钛酸锶钡薄膜材料

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钛酸锶钡薄膜材料材料包括金属基片,特别是金属基片上依次覆有Ba0.2~0.6Sr0.8~0.4TiO3种子层和BaXSr1-XTiO3薄膜。

制备方法方法包括用常规方法获得金属基片,特别是按照Ba0.2~0.6Sr0.8~0.4TiO3的成分比,将醋酸钡、醋酸锶、三氟乙酸、乙酰丙酮和钛酸丁脂先后混合得到种子层前驱胶体,再将该胶体置于金属基片上,经甩膜、热解、退火得到种子层;按照BaXSr1-XTiO3(0≤X≤1)的成分比,将醋酸钡、醋酸锶、钛酸丁脂和甲醇先后混合得到钛酸锶钡前驱胶体;再将此前驱胶体置于覆有种子层的金属基片上,经甩膜、热解和退火得到BaXSr1-XTiO3薄膜;重复得到薄膜的步骤,直至获得所需厚度的BaXSr1-XTiO3薄膜,从而制得高度取向的钛酸锶钡薄膜材料。它既适合后续钇钡铜氧薄膜的生长,也可直接应用于动态随机存储器中。1

钛酸锶钡概述钛酸锶钡 (Ba1-xSrxTiO3,BST)可归为BaTiO3 (BTO) 和SrTiO3 (STO) 的固溶体。BTO为铁电材料,其居里温度约为 120oC,随着STO含量的增加,BST的居里温度逐渐降低,从 400K降低至 30K。在室温下,当x