[科普中国]-电子级氢氟酸

世界高端半导体市场长期以来被日本占领，经过经10年的发展，中国涌现出以安集、新阳、多氟多、江峰等企业为代表的高端电子化学品企业，根据用途的不同，电子级氢氟酸被分为EL、UP、UPS、UPSS。

其中UPSS级别是目前最先进的级别，国内目前仅有多氟多生产和大规模应用。1

电子级氢氟酸英文名 hydrofluoric acid，分子式HF，分子量 20. 01。为无色透明液体 ，相对密度1. 15～1 . 18，沸点 112 . 2 ℃，在空气中发烟 ，有刺激性气味 ，剧毒。能与一般金属、 金属氧化物以及氢氧化物发生反应 ，生成各种盐类。腐蚀性极强 ，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇 ，难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、 腐蚀剂 ，可与硝酸、冰醋酸、 双氧水及氢氧化铵等配置使用。

制备方法一、精馏法

二、蒸馏法

三、亚沸蒸馏

四、减压蒸馏

五、气体吸收

以上提纯技术各有特性，各有所长。如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，气体吸收技术可以用于大规模的生产。另外，由于氢氟酸的强腐蚀性，采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重，因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。

生产工艺将无水氢氟酸（国家标准制定者：多氟多化工股份有限公司）经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经0.2μm以下超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。

质量标准目前，因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：

1 低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；

2 中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；

3 中高档产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；

4 高档产品（UPss），适用于0.09～0.2μm和