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金属靶材的关键工艺及其在科技的作用

上传时间：2024-02-27 20:14

中国有色金属学会

金属靶材

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视频简介：在物理气象沉积如建设或蒸发过程中，金属靶材被用来在基底上沉积出一层均匀的金属薄膜，这层薄膜的质量，纯度和均匀性直接影响最终产品的性能，因此金属靶材角色在半导体制造中扮演着至关重要的角色。

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