“超级针”X射线成像系统问世

　　近日，中国电科38所发布自主研制的新一代无损检测设备——“超级针”X射线成像系统，这是全国首台“超级针”X射线成像系统。该系统拥有“火眼金睛”般的缺陷检测能力，成像分辨率小于1微米，相当于发丝的1%，可应用于集成电路、军工航天、汽车电子、医疗诊断、文物保护等多个领域。

　　微焦点X射线成像系统是工业无损检测的常规必备设备，广泛应用于集成电路、电子器件等各种器材的无损检测。中国电科38所“超级针”X射线成像系统采用独特的“超级针”X射线源专利技术，可在图像增强器上形成被扫描物体的透视图像。该设备采用全国首创的“超级针”X射线源，因而以“超级针”冠名，具有成像清晰、性能稳定、洁净度高、超低辐射、低能成像等优点，在硅、铝、铜、陶瓷等轻元素材料的精密检测方面优势明显，已申请国内外发明专利30余项。

　　《 人民日报 》（ 2018年11月02日 12 版）