热阴极与冷阴极电离规稳定性的比较研究电离规作为参考标准或副标准时,稳定性尤为重要。热阴极型电极:当使用熔点和沸点很高的材料如C,W等做阴极时,阴极可以被加热到很高温度,电弧的阴极区的电子主要依靠阴极热发射来提供,这种电极被称为热阴极型电极.
简介热阴极是通过阴极材料的热电子发射而获得电子流的一种阴极,热阴极的加热方法有两种:对发射体或它们的基金属直接通电进行加热的叫做直热式阴极;对热子进行通电加热,再由热子将热量辐射和传导给发射体的阴极叫做间热式阴极。按阴极制备材料的不同,又有纯金属阴极、原子薄膜阴极、氧化物阴极和扩散阴极、六硼化镧阴极等之分。1
比较研究热阴极与冷阴极电离规稳定性的比较研究
电离规作为参考标准或副标准时,稳定性尤为重要.通常在校准服务中,只有热阴极电离规用作参考标准或副标准,不采用冷阴极电离规的传统原因是冷阴极电离规的非连续性、低压力下放电延迟效应以及它的不稳定性等.尽管现代反磁控型冷阴极电离规被认为解决了这些问题,但没有足够的数据来证明这些特性.作者介绍了对3个热阴极电离规和2个反磁控型冷阴极电离规的校准结果,校准采用的是高真空基础标准,校准范围为10-7~10-3Pa,校准气体包括N2、Ar、He和H2.在1×10-4Pa恒定压力下连续72h观测中,热阴极电离规在N2、Ar和He中的稳定性优于反磁控规,但在H2中所有规的稳定性相似.在6个月的重复校准中,所有规在N2、Ar和He中的长期稳定性相似,但在H2中反磁控规的长期稳定性优于热阴极电离规.对于不同的气体,反磁控规的非连续性出现于不同的压力点,反磁控规的非连续性使校准工作变得更为复杂.
市场分析报告中国热阴极电离真空计市场分析报告
研究了在热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中,热阴极辉光放电特性与金刚石膜沉积工艺的关系.结果表明,适当的阴极温度是保证大电流、高气压辉光放电的必要条件.阴极的温度影响辉光放电阴极位降区的放电性质.金刚石膜的沉积速率随着气体压力(16~20kPa)的升高而上升,在18.6kPa左右出现最高值,而阳极位降区电场强度的降低使膜品质下降.放电电流(8~12A)对沉积速率的影响与气体压力的影响具有相似的规律.
设计热阴极电离真空计的设计
结合测量高真空用的检测器--高真空电离规管,叙述了热阴极电离真空计的结构、工作原理及其用途;介绍了采用脉 宽调制(PWM)技术与推挽变换结合的方法设计出简单、实用、稳定可靠的热阴极电离真空计的驱动电路.该真空计电路性能稳定可靠,由于采用了PWM控制,并经过了变压器的电流变换,没有直接控制热阴极的大电流,从而降低了功耗,大大减少了大电流发热元件的数量,使整机的温升得到有效抑制.
本词条内容贡献者为:
王宁 - 副教授 - 西南大学