简介 根据干涉理论,对于任意结构的表面,如果用波长为λ的光波进行测量,被测表面上任一点的深度h与测出的位相Φ之间的关系为(对反射式测量): 式中,m是干涉条纹级次,Φ是测得的位相且 。 如果h较小,干涉级次m